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    微电子技术是随着集成电路,尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。其发展的理论基础是19世纪末到20世纪30年代期间建立起来的现代物理学。微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自...详细>
    中文名:微电子学
    外文名:Microelectronics
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  • 中国科学院微电子研究所

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